顯微成像橢偏儀:結合了橢偏技術與光學顯微成像技術的高精度儀器
2026-01-26 顯微成像橢偏儀是一種將橢偏技術與光學顯微成像結合的精密儀器,主要用于在微米尺度上無損測量薄膜的厚度、折射率等光學參數,并能實時可視化樣品表面的形貌分布。它適合分析微結構樣品,比如集成電路、傳感器或二維材料,具有亞納米級的厚度分辨率和微米級的橫向分辨率。顯微成像橢偏儀基于橢圓偏振原理,通過分析入射偏振光經樣品反射或透射后的偏振態變化,結合光學顯微成像技術,獲取樣品表面的三維形貌分布及薄膜厚度、折射率等光學參數。具體過程如下:光源與偏振控制:光源發出的光經起偏器變為線偏振光,再通...